显微CT相关研究

课题任务:
(1)调研显微CT的原理与发展动态，构想本课题的研究思路，撰写开题报告，完成外文翻译;
(2)构建局限于显微物镜数值孔径角范围内的多向平面光束经过高深宽比微结构光栅的光程调制计算公式，高深宽比取10:1，材料为硅晶圆;
(3)编写MATLAB程序，仿真光程差随多项角度的分布函数;
(4)研究显微CT工作原理，推导基于多向束光程差函数重构结构三维信息的数学模型;
(5)编写MATLAB程序，仿真重构三维形貌，与代入的初始三维形貌比较，开展精度评估工作。